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1）測頭系統(tǒng)：
測頭系統(tǒng)包括探頭、吸盤、探針、讀數(shù)頭、光柵尺。
2）硬件控制系統(tǒng)：
C99 控制柜，具備計算機輔助誤差修正功能，可對 CMM 和傳感器做實時的動態(tài)修正，確保得到精確的結(jié)果。
電氣驅(qū)動系統(tǒng)，包括電機、摩擦滾、鋼帶、皮帶、氣墊（氣浮軸承）、氣管、過濾器、氣壓表、調(diào)壓閥。

3) 其它機械部件
蔡司三坐標CONTURA?包括花崗巖臺面、三軸導(dǎo)軌、減震墊、支撐基架、Z 軸平衡氣缸、電磁閥等。
數(shù)據(jù)處理軟件系統(tǒng)（CALYPSO 測量軟件），利用該軟件，可把 CAD 數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)變成測量程序，從而獲得準確無誤的檢測方案。

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